चीन के सेमीकंडक्टर उद्योग के विकास के साथ, प्रक्रिया उपकरणों के लिए प्रमुख घटकों का विकास उपकरण विकास पर एक महत्वपूर्ण बाधा बन गया है। जैसे-जैसे घरेलू सेमीकंडक्टर प्रौद्योगिकी स्थानीयकरण की मांग मजबूत होती जा रही है, सेमीकंडक्टर उद्योग में अधिक से अधिक अड़चनें दूर हो जाएंगी। सेमीकंडक्टर उद्योग में वर्षों के अनुभव के आधार पर, हमारी कंपनी ने सेमीकंडक्टर कोटिंग में वेफर्स को सोखने, विकसित करने और उपकरणों की सफाई के लिए एक खोखली {2}शाफ्ट हाई{3}स्पीड सर्वो मोटर विकसित की है। इस मोटर में उच्च त्वरण, विस्तृत गति सीमा और उच्च प्रतिक्रियाशीलता है, और उद्योग में ग्राहकों द्वारा इसकी व्यापक रूप से प्रशंसा की गई है।
खोखले -शाफ्ट सर्वो मोटर के अनुप्रयोग:
एक्सपोज़र और विकासशील उपकरण (कोटिंग, विकास): फोटोलिथोग्राफी प्रक्रियाओं के लिए मुख्य उपकरण, कोटिंग, एक्सपोज़र और विकास को नियंत्रित करना।
सफाई, कोटिंग, विकास और फिल्म हटाने के उपकरण।
भौतिक धुलाई सफाई, कण सफाई और स्प्रे प्रक्रियाओं के लिए उपयुक्त।
खोखले दस्ता सर्वो मोटर उत्पाद विनिर्देश और अनुप्रयोग क्षेत्र:
750W/1000W - 5000, 6000 आरपीएम
अनुप्रयोग क्षेत्र (उच्च-अंत मॉडल):
8-इंच और 12-इंच अर्धचालक उपकरण।
कोटिंग, विकास, सफाई और नक़्क़ाशी जैसी प्रक्रियाएं।
अधिकतम त्वरण 50000 R/S² तात्कालिक त्वरण तक पहुँच सकता है।
विशेष शाफ्ट एंड डिज़ाइन न्यूनतम शाफ्ट एंड लोड रनआउट गुणांक सुनिश्चित करता है।
